Tecnologia di elaborazione della piattaforma di granito e dei prodotti componenti
L'elaborazione degli spazi vuoti della piattaforma di precisione in granito e dei prodotti componenti è semplice e facile da ottenere un'elevata precisione. È facile ottenere un'elevata precisione e rugosità superficiale attraverso la molatura e la lucidatura, a differenza delle parti metalliche che richiedono complessi processi di levigatura, forgiatura o trattamento termico e delle parti in ceramica che richiedono pressatura, formatura, sinterizzazione e altri processi.
Pertanto, l'apparecchiatura di elaborazione è semplice, il ciclo di elaborazione è breve, la resa è elevata e il costo di elaborazione è basso. A 1200 mm × Prendendo come esempio la piattaforma in granito da 800 mm, la precisione di lavorazione può essere raggiunta in solo mezzo mese dal grezzo al prodotto finito e la planarità può raggiungere 2,5 μ m. Occorrono almeno uno o due anni perché altri materiali della stessa dimensione raggiungano tale precisione.
Il grezzo della piattaforma di precisione in granito e dei prodotti componenti viene prima tagliato nella dimensione richiesta da una lama circolare diamantata. Il piano di lavorazione di solito deve essere rettificato e lucidato mediante mola in diversi processi. Una maggiore precisione deve essere ottenuta mediante smerigliatura manuale con utensile abrasivo in ghisa grigia e abrasivo al carburo di silicio. Quando è richiesta la scanalatura, deve essere selezionata la testa di fresatura corrispondente e la punta diamantata deve essere utilizzata per la foratura.
Esistono due metodi di rilevamento:
1. Uno è con una precisione di 0,5 μ M di livello elettronico, in grado di rilevare la rettilineità con il metodo di spostamento e la planarità con il metodo di produzione. I risultati misurati possono essere convertiti dall'algoritmo per ottenere i valori specifici di rettilineità e planarità; È caratterizzato da una bassa precisione, ma dati di misurazione affidabili e nessuna deriva del punto "{3}}". È particolarmente adatto per la misurazione e il rilevamento in linea.
2. Un altro metodo per misurare la rettilineità può essere passato con una precisione di 0.1 μ Il micrometro di capacità di M viene misurato con il metodo dello spostamento e il valore di indicazione del suo metro è il valore di errore della rettilineità; In questa misurazione, la deriva del punto '0' del micrometro a induttanza stesso è grave e il suo valore può essere considerato attendibile solo dopo 24 ore di stabilità. Pertanto, il tempo di connessione tra elaborazione e misurazione aumenta. Un'elaborazione di precisione superiore deve disporre di mezzi di rilevamento di precisione di livello superiore. Attualmente viene spesso utilizzato il calibratore dinamico HP5528A o HP5529A. La precisione del display è di 1 nm, in grado di rilevare planarità, perpendicolarità, rettilineità, vibrazione della base dei tempi, misurazione dello spostamento angolare, misurazione diagonale, ecc.
La precisione di rilevamento del calibratore dinamico è particolarmente elevata, ma a causa del suo complesso sistema ottico e delle complesse procedure di debug, in particolare l'intensità luminosa e del raggio di ritorno dell'apparecchio ottico sono garantiti superiori all'80 percento, altrimenti il raggio sarà bloccato, che è difficile per il debugger, il tempo di debug è lungo e il metodo di debug non è facile da padroneggiare. Allo stesso tempo, richiede un ambiente di misurazione elevato.
